制备多晶硅时，有如下反应：Si+3HCl==X+H₂ ↑，X的化学式为

A、SiCl                                 B、SiH₂Cl₂                          C、SiHCl₃                            D、SiH₄

制备多晶硅时，有如下反应：Si+3HCl═X+H₂↑，X的化学式为

1. A.
   SiCl
2. B.
   SiH₂Cl₂
3. C.
   SiHCl₃
4. D.
   SiH₄

制备多晶硅时，有如下反应：Si+3HCl==X+H₂ ↑，X的化学式为

_A、SiCl                          B、SiH₂Cl₂                  C、SiHCl₃                   D、SiH₄

制备多晶硅时，有如下反应：Si+3HCl═X+H₂↑，X的化学式为（ ）

　  A  SiCl     B  SiH₂Cl₂     C  SiHCl₃   D  SiH₄

制备多晶硅时，有如下反应：Si+3HCl==X+H₂ ↑，X的化学式为