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制备多晶硅时,有如下反应:Si+3HCl═X+H2↑,X的化学式为(  )
A.SiClB.SiH2Cl2C.SiHCl3D.SiH4
根据反应的化学方程式Si+3HCl═X+H2↑,反应物中硅、氢、氯原子个数分别为1、3、3,反应后的生成物中硅、氢、氯原子个数分别为0、2、0,根据反应前后原子种类、数目不变,则每个X分子由1个硅原子、1个氢原子和3个氯原子构成,则物质X的化学式为SiHCl3
故选C.
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