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制备多晶硅时，有如下反应：Si+3HCl==X+H2 ↑，X的化学式为
A、SiCl B、SiH2Cl2 C、SiHCl3 D、SiH4
C
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A、SiCl B、SiH2Cl2 C、SiHCl3 D、SiH4
C
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，有如下反应：Si+3
HCl═X+H2↑，X的化学式为（ ）