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×ÊÁÏ5£º1959Ä꣬ÂÞ²®ÌØÉ­Ôڵ羵Ï¿´µ½Ï¸°ûĤÇåÎúµÄ¡°°µ¡ªÁÁ¡ª°µ¡±µÄÈý²ã½á¹¹¡£°´ÕÕ¡°ÈýÃ÷ÖΡ±Ä£ÐÍ£¬¿ÆÑ§¼Ò¾­¹ý¼ÆËãÈÏΪÉúÎïĤÖÁÉÙºñÔ¼15¡«20 nm¡£µ«µç¾µÕÕÆ¬ÖУ¬Êµ¼Ê²âµÃϸ°ûĤµÄºñ¶ÈΪ7¡«10 nm¡£
×ÊÁÏ6£º1970Ä꣬¿ÆÑ§¼ÒÓÃÓ«¹â±ê¼ÇµÄСÊóϸ°ûºÍÈËϸ°ûµÈ×öÁËһϵÁÐÏà¹ØÈÚºÏʵÑé¡£
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