2、对于垂直入射,若k=0,呈现极大加强的波长为

用以上的d值,得

对于任何厚度的膜层,可从用同样的方式算出。在本题中

它稍带黄色的绿光相对应。

例8、在半导体元件的生产中,为了测定Si片上的薄膜厚度,将薄膜磨成劈尖形状。如图2-1-31所示,用波长λ=5461的绿光照射,已知的折射率为1.46,Si的折射率了3.42,若观察到劈尖上出现了7个条纹间距,问薄膜的厚度是多少?

解:设图中从上到下依次为空气、和Si,由于的折射率小于Si的折射率,所以光从空气射入劈尖的上、下表面反射时都有半波损失,因此在棱边(劈膜厚度d=0处)为明条纹。当劈膜厚度d等于光在膜层中半波长的奇数倍时(或者膜层厚度d的2倍等于光在膜层中波长的整数倍时)都将出现明条纹。所以明条纹的位置应满足:

因此相邻明条纹对应的劈膜厚度差为

所以在劈膜开口处对应的膜层厚度为

例9、利用劈尖状空气隙的薄膜干涉可以检测精密加工工件的表面质量,并能测量表面纹路的深度。测量的方法是:把待测工件放在测微显微镜的工作台上,使待测表面向上,在工件表面放一块具有标准光学平面的玻璃,使其光学平面向下,将一条细薄片垫在工件和玻璃板之间,形成劈尖状空气隙,如图2-1-32所示,用单色平行光垂直照射到玻璃板上,通过显微镜可以看到干涉条文。如果由于工件表面不平,观测中看到如图上部所示弯曲的干涉条纹。

①请根据条纹的弯曲方向,说明工件表面的纹路是凸起还不下凹?

②证明维路凸起的高度(或下凹的深度)可以表示为 

式中λ为入射单色光的波长,a、b的意义如图。

分析:在劈尖膜中讲过,空气隙厚度hk存在相应关系。若工作表面十分平整,则一定观察到平行的干涉条纹。由于观察到的条纹向左弯曲,说明图中P点与Q点为同一k级明纹或暗纹。且某一k值与厚度h有线性正比关系。故P点与Q点对应的k相等,工件必下凹。

解①单色光在空气隙薄膜的上下表面反射,在厚度x满足:

时出现明条纹,相邻明条纹所对应的空气隙的厚度差  

可见,对应于空气隙相等厚度的地方同是明条纹,或同是暗条纹。从图中可以看出,越向右方的条纹,所对应的空气隙厚度越大。故条纹左弯,工件必下凹。

②由图中看出,干涉条纹间距为b,对应的空气隙厚度差为。又因为条纹最大弯曲程度为a,因此完所对应的纹路最大深度h应满足h

所以        

2.为获得最多的干涉条纹,屏幕应离透镜多远?

解:1、首先讨论粘合透镜的上半个透镜的成像。在图2-1-20中OO

粘合透镜的中心轴线,在OO上方用实线画出了上半个透镜,在OO下方未画下半个透镜,而是补足了未切割前整个透镜的其余部分,用虚线表示。整个透镜的光轴为

半个透镜产成像规律应与完整的透像相同。现在物点(即光源)S在粘合透镜的中心轴线上,即在图中透镜的光轴上方处,离透镜光心的水平距离正好是透镜的焦距。根据几何光学,光源S发出的光线,经透镜光心的水平距离正好是透镜的焦距。根据几何光学,光源S发出的光线,经透镜折射后成为一束平行光束,其传播方向稍偏向下方,与光轴(对OO也是一样)成角为。当透镜完整时光束的宽度为:透镜直径透镜直径。对于上半个透就,光事宽度为

同理,S所发的光,经下半个透镜折射后,形成稍偏向上方的平行光束,与轴成角,宽度也是

于是,在透镜右侧,成为夹角为θ的两束平行光束的干涉问题(见图2-1-21),图中的两平行光束的重叠区(用阴影表示)即为干涉区。为作图清楚起见,图2-1-21,特别是图12-1-21中的θ角,均远较实际角度为大。

图2-1-22表示的是两束平行光的干涉情况,其中θ是和图2-1-21中的θ相对应的。图2-1-22中实线和虚线分别表示某一时刻的波峰平面和波谷平面。在垂直于中心轴线屏幕上,A、B、C表示相长干涉的亮纹位置,D、E表示相消干涉的暗纹位置,相邻波峰平面之间的垂直距离是波长λ。故干涉条纹间距△x满足

在θ很小的情况下,上式成为

所以透镜切去的宽度

=

果然是一个很小的角度。

 0  361166  361174  361180  361184  361190  361192  361196  361202  361204  361210  361216  361220  361222  361226  361232  361234  361240  361244  361246  361250  361252  361256  361258  361260  361261  361262  361264  361265  361266  361268  361270  361274  361276  361280  361282  361286  361292  361294  361300  361304  361306  361310  361316  361322  361324  361330  361334  361336  361342  361346  361352  361360  447090 

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