题目内容
硅（Si）是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。利用石英砂（主要成分为SiO2）生产高纯硅（Si）的流程图如下（整个制备过程必须达到无水、无氧气）。
提示：Si+3HCl 加热 SiHCl3 +H2 ↑
回答下列问题：
（1）三氯甲烷（SiHCl3）是由_____________种元素组成的物质；
（2）在H2和SiHCl3反应的过程中若混入O2，可能引起的后果是______________。
（3）以上生产高纯硅的流程中，可循环使用的物质是 。
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