题目内容
高纯硅是信息产业最基础的原材料，制备高纯硅的主要生产过程如下：
请回答：
（1）一个SiHCl3分子中含有氯原子的个数为 ；
（2）制备高纯硅的反应原理：SiHCl3（纯）＋H2 高温 Si＋3X，则X的化学式为 。
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（1）一个SiHCl3分子中含有氯原子的个数为 ；
（2）制备高纯硅的反应原理：SiHCl3（纯）＋H2 高温 Si＋3X，则X的化学式为 。
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