题目内容

目前制备高纯硅最广泛采用的方法为三氯硅烷还原法,其化学反应原理为:

①SiO2+2CSi+2X ②Si+3HClHSiCl+H ③HSiCl+H═Si+3HCl

(1)反应①中X的化学式为

(2)三氯硅烷(HSiCl3)中硅元素的化合价为

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