摘要：太阳能电池的开发 太阳能电池是一种有效地稀收太阳能辐射并使之转化为电能的半导体电子器件.下面介绍北京太阳能光电研究中心对太阳能电池的研究情况．晶体硅高效太阳电池和多晶硅薄膜太阳电池的研究开发以及研究成果向产业化转化. ⑴高效晶体硅太阳电池 光电中心高效晶体硅太阳电池研究开发项目有钝化发射区太阳电池.埋栅太阳电池及多晶硅太阳电池. ●钝化发射区太阳电池光电中心研究钝化发射区太阳电池的基本目的是探索影响电池效率的各种机制.为降低太阳电池成本提供理论和工艺依据.推动太阳电池理论的发展.实验中采用的材料为区熔[100]单晶硅.电阻率0．2-1．2cm.厚度t=280-350m.双面抛光.电池工艺包括正面倒金字塔织构化.前后表面钝化.制备选择性发射区.减反射表面.背场.前后金属接触等.目前电池达到的水平见表1. 表1 PESC的电池的性能 Vco(mV) Jsc(mA/cm2) FF (%) A(cm2) 测试单位 656.1 37.4 0.806 19.79 4.04 北京市太阳能研究所 *Voc 开路电压.Jsc 短路电流密度.FF 填充因子. 转换效率.A 太阳电池面积 ⑵多晶硅薄膜太阳电池 多晶硅薄膜太阳电池既具有体材料晶体硅电池性能稳定.工艺成熟和高效的优点.又有大幅度减少材料用量从而大幅度降低成本的潜力.因而成为目前光伏界的研究热点. 光电中心采用快速热化学气相沉积.等离子增强化学气相沉积和a-Si／uc-Si迭层电池等不同工艺对多晶硅薄膜太阳电池进行了研究.RTCVD多晶硅薄膜SiH2C12或SiCl4为原料气体在石英管反应室内沉积而成.研究工作初期.以重掺杂非活性硅为衬底.

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