摘要:1.人们常把集成电路称为微电子器件.这个“微 字不只是微小的意思.在物理学中.微电子器件芯片中的线宽在1μm左右.目前.世界上最先进的线宽已降到0.13μm.数年后.有可能降到0.05μm.合 nm.合 m.它标志着信息技术将从微电子时代发展到纳米电子时代.

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