题目内容

硅(Si)是一种重要的半导体材料,广泛应用于电子工业的各个领域。三氯甲硅烷(SiHCl3)还原法是当前制备高纯硅的主要方法,生产流程示意图如下:

(1)硅原子的原子结构示意图为__。

(2)由石英石(SiO2)制备粗硅的化学方程式为__。

(3)“精馏”是蒸馏的一种形式,精馏过程属于__变化(填“物理”或“化学”)。

(4)由三氯甲硅烷(SiHCl3)转变为纯硅时,反应要在无氧环境中进行的原因是__。

(5)该生产工艺中可以循环使用的物质是__。

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