题目内容
下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程。
（1）用惰性电极电解饱和食盐水，写出常温下X与Z反应的化学方程式 。
（2）在合成SiHCl3的过程中，还会有生成副产物SiCl4。已知两物质的沸点分别为57.6℃和31.8℃，则提纯SiHCl3的方法是 。
（3）SiHCl3提纯后用H2还原：SiHCl3(g)+H2(g) 
Si(s)+3HCl(g)。不同温度及不同
时，反应物X的平衡转化率关系如图图20-1所示。
X是 （填“H2”或“SiHCl3”）。
②上述反应的平衡常数K（1150℃） K（950℃）（填“＞”、“＜”或“=”）。
（4）SiH4（硅烷）法生产高纯多晶硅是非常优异的方法。用粗硅作原料，熔融盐电解法制取硅烷原理如图20-2所示，电解时阳极的电极反应式为 。
练习册系列答案
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