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| T2 | 2100 | 869 | 242 | x | x | x | x |
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| µç»¡Â¯ | SiO2+2C$\stackrel{1600-1800¡æ}{?}$Si+2CO¡ü |
| Á÷»¯´²·´Æ÷ | Si+3HCl$\stackrel{250-300¡æ}{?}$SiHCl3+H2 |
| »¹Ô¯ | SiHCl3+H2$\stackrel{1100-1200¡æ}{?}$Si+3HCl |
¢ÚÔÚÁ÷»¯´²·´Ó¦µÄ²úÎïÖУ¬SiHCl3´óÔ¼Õ¼ 85%£¬»¹ÓÐSiCl4¡¢SiH2Cl2¡¢SiH3ClµÈ£¬ÓйØÎïÖʵķеãÊý¾ÝÈçÏÂ±í£¬Ìá´¿SiHCl3µÄÖ÷Òª¹¤ÒÕ²Ù×÷ÒÀ´ÎÊdzÁ½µ¡¢ÀäÄýºÍ¾«Á󣨻òÕôÁ󣩣®
| ÎïÖÊ | Si | SiCl4 | SiHCl3 | SiH2Cl2 | SiH3Cl | HCl | SiH4 |
| ·Ðµã/¡æ | 2355 | 57.6 | 31.8 | 8.2 | -30.4 | -84.9 | -111.9 |
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