题目内容

12.NF3具有很高的蚀刻速率和选择性,因此NF3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体.在1个标准大气压下,NF3的沸点为-129.0℃,能与空气中的水蒸气反应生成HF、NO和HNO3.NF3可通过如下方法制备:
(1)气-气反应:常温下,将OF2与干燥的空气混合即得NO2和NF3
①原料OF2中氧元素的化合价为+2.
②已知反应中每消耗1molN2转移7mol电子,配平反应:
6OF2+4N2+1O2═4NO2+4NF3
(2)气-固反应:由于气-气反应容易腐蚀设备,研究人员提出用气-固制备NF3
气-固反应包括如下两个步骤:
(NH43AlF6+6F2═2NH3+8HF+NH4AlF4   NH4AlF4+3F2═NF3+4HF+AlF3
①若有0.5mol(NH43AlF6完全氧化,则可制得NF333.6LL(标准状况下).
②若要制备1.5mol NF3,共有9mol电子发生转移.
(3)电解法:NF3电解制备工艺已经比较成熟,国外一些公司均采用点解熔融NH4F•xHF的方法制备NF4
①点解过程中阳极反应式为NH4+-6e-+3F-═NF3↑+4H+
②阳极上的主要副产物为F2(不考虑产物与电极材料的反应).
(4)NF3在空气中泄露,还是易于发现的.判断发生了NF3泄露的现象是观察到有红棕色气体和白雾产生.

分析 (1)①原料OF2中氟的电负比氧强,所以氧元素的化合价显正价,氟元素显负价;
②由①知NF3中氮元素的化合价为+3,而反应中每消耗1molN2转移7mol电子,用待定系数和得失电子守恒分析解答;
(2)①Ⅰ、(NH43AlF6+6F2═2NH3+8HF+NH4AlF4;Ⅱ、NH4AlF4+3F2═NF3+4HF+AlF3
消去中间产物NH4AlF4,Ⅰ+Ⅱ得总反应方程式为(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3,同时得当有0.5mol (NH43AlF6完全被氧化可得1.5molNF3,根据V=nVm进行计算;
②由反应方程式(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3可知,制备3molNF3,共转移18mol电子,因此制备1.5molNF3,共有9mol电子发生转移;
(3)①电解过程中阳极发生氧化反应;
②阳极上能发生氧化反应的微粒还有F-,所以F-发生氧化反应后得F2
(4)NF3与空气中的水蒸气反应的产物有HF、NO和HNO3,NO遇空气呈红综色,同时氢氟酸、硝酸小液滴在空气中产生白雾.

解答 解:(1)①由于氟的非金属性强于氧的,氟和氧成键时共用电子对偏向氟,因此OF2中氧元素呈+2价,故答案为:+2; 
②OF2中氧元素呈+2价,同理知NF3中氮元素的化合价为+3,根据题意知OF2+N2+O2→NO2+NF3,设当有1molN2反应时,生成NO2xmol,NF3ymol,根据N原子守恒得x+y=2,根据得失电子守恒得4x+3y=7,联立解得x=y=1,由此可知反应的化学方程式为6OF2+4N2+O2═4NO2+4NF3,故答案为:6,4,1,4,4;
(2)①Ⅰ、(NH43AlF6+6F2═2NH3+8HF+NH4AlF4;Ⅱ、NH4AlF4+3F2═NF3+4HF+AlF3
消去中间产物NH4AlF4,Ⅰ+Ⅱ得总反应方程式为(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3,同时得当有0.5mol (NH43AlF6完全被氧化可得1.5molNF3,则V=nVm=1.5mol×22.4L/mol=33.6L,故答案为:33.6L;
②由反应方程式(NH43AlF6+9F2═3NF3+12HF+AlF3可知,制备3molNF3,共转移18mol电子,因此制备1.5molNF3,共有9mol电子发生转移,故答案为:9;
(3)①电解过程中阳极发生氧化反应,因为NF3是NH4+在阳极被氧化所得,电极反应式为NH4+-6e-+3F-═NF3↑+4H+,故答案为:NH4+-6e-+3F-═NF3↑+4H+
②阳极上能发生氧化反应的微粒还有F-,所以F-发生氧化反应后得F2,故答案为:F2
(4)NF3与空气中的水蒸气反应的产物有HF、NO和HNO3,NO遇空气呈红综色,同时氢氟酸、硝酸小液滴在空气中产生白雾,所以现象为:有红棕色气体和白雾产生,故答案为:观察到有红棕色气体和白雾产生.

点评 本题考查氧化还原反应,为高考高频考点,把握反应中元素的化合价变化为解答的关键,侧重氧化还原反应中基本概念及转移电子数目的考查,注意规律性知识的应用,题目难度不大.

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