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氮化硅(Si3N4)是一种高温陶瓷材料,它的硬度大、熔点高、化学性质稳定,工业上普遍采用高纯硅与纯氮在1300℃反应获得。

(1)氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强,除氢氟酸外,它不与其他无机酸反应。试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式为                   

(2)现用四氯化硅和氮气在氢气中加强热发生反应,可制得高纯度氮化硅,反应的化学方程式为                      

(1)Si3N4+12HF=3SiF4↑+4NH3↑。

(2)3SiCl4+2N2+6H2=Si3N4+12HCl。

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