氮化硅是一种高温陶瓷材料，结构类似于硅、二氧化硅，它的硬度大，熔点高，化学性质稳定，工业上曾普遍采用高纯硅与纯氮在1 300 ℃反应制得。

（1）根据性质，推测氮化硅的用途是（    ）

A.制汽轮机叶片                             B.制有色玻璃

C.制永久性模具                             D.制造柴油机

（2）氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式_______________________________________。

（3）用四氯化硅在氢气中与氮气反应（加强热）可制得较高纯度的氮化硅，反应的化学方程式为_____________________________________________________。

    （1）写出N原子的结构示意图：_____________________，再写出Si原子结构示意图：_____________________，并据此写出氮化硅的化学式：_____________________。

    （2）氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不跟其他无机酸反应。试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式：_____________________。

    （3）现用四氯化硅和氮气在氢气气氛保护下，加强热发生反应，可得较高纯度的氮化硅，反应的化学方程式为_____________________。