摘要:人们常把集成电路称为微电子器件.这个“微 字不只是“微小 的意思.在物理学中.微电子器件是指芯片中的线宽在1μm左右.目前.世界上最先进的线宽已降到0.13μm.数年后,有可能降到0.05μm, 合 m..现在科学家们正在研制纳米(1nm= 10-9m)范围内的电子器件.这标志着本世纪上半叶信息技术将从微电子时代发展到纳电子时代.

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